超纯水工艺流程

摘要： 超纯水工艺流程 原水 → 原水箱 → 原水泵→ 加絮凝剂装置→ 双介质过滤器 → 活性炭过滤器 →板式换热器→加阻垢剂装置→5μm保安过滤器 →**高压泵 → **反渗透膜组 → 加碱装置→ 二级高压泵 → 二级反渗透膜组 → 中间水箱　→中间水泵→ 紫外线**灯→去TOC紫外灯 → 脱氧膜组 → EDI装置 → **抛光混床 → 超纯水箱→ 超纯水泵→ 板式换热器→二级去TOC紫外灯→二级...